超高純度硝酸99.9999%不純物10ppt未満
超高純度硝酸99.9999%不純物10ppt未満
化学名:超高純度硝酸99.9999%99.999%(すべての不純物は10PPT未満です)
分子式：HNO₃(ホノ₃)
分子量:63.01 g / mol
CAS番号:7697-37-2
EC番号:231-714-2
| パラメーター | ウム | 最低限 | 極度 | |
| アッセイ(HNO3) | % | 69.0 | 70.0 | |
| 色 | APHAの | 5 | ||
| 塩化物(Cl) | PPBの | 80 | ||
| リン酸塩(PO4) | PPBの | 50 | ||
| 硫酸塩(SO4) | PPBの | 100 | ||
| 不純物が一番大きい | ウム | 最低限 | 極度 | |
| アルミニウム(Al) | PPBの | 0.05 | ||
| アンチモン(Sb) | PPBの | 0.05 | ||
| ヒ素(As) | PPBの | 0.05 | ||
| バリウム(Ba) | PPBの | 0.05 | ||
| ベリリウム(BE) | PPBの | 0.05 | ||
| ビスマス(Bi) | PPBの | 0.05 | ||
| ホウ素 (B) | PPBの | 0.05 | ||
| カドミウム(Cd) | PPBの | 0.05 | ||
| カルシウム(Ca) | PPBの | 0.05 | ||
| クロム(Cr) | PPBの | 0.05 | ||
| コバルト(Co) | PPBの | 0.05 | ||
| 銅(Cu) | PPBの | 0.05 | ||
| ガリウム(Ga) | PPBの | 0.05 | ||
| ゲルマニウム(Ge) | PPBの | 0.05 | ||
| ゴールド (AU) | PPBの | 0.05 | ||
| 鉄(鉄) | PPBの | 0.05 | ||
| 鉛(Pb) | PPBの | 0.05 | ||
| リチウム(Li) | PPBの | 0.05 | ||
| マグネシウム(mg) | PPBの | 0.05 | ||
| マンガン(Mn) | PPBの | 0.05 | ||
| モリブデン(Mo) | PPBの | 0.05 | ||
| ニッケル(Ni) | PPBの | 0.05 | ||
| ニオブ(Nb) | PPBの | 0.05 | ||
| カリウム(K) | PPBの | 0.05 | ||
| セレン(Se) | PPBの | 0.05 | ||
| シルバー(Ag) | PPBの | 0.05 | ||
| ナトリウム(Na) | PPBの | 0.05 | ||
| ストロンチウム(Sr) | PPBの | 0.05 | ||
| タンタル(Ta) | PPBの | 0.05 | ||
| タリウム(Tl) | PPBの | 0.05 | ||
| 錫(Sn) | PPBの | 0.05 | ||
| チタン(Ti) | PPBの | 0.05 | ||
| タングステン (W) | PPBの | 0.05 | ||
| バナジウム(V) | PPBの | 0.05 | ||
| 亜鉛(Zn) | PPBの | 0.05 | ||
| ジルコニウム(Zr) | PPBの | 0.05 | ||
| パーティクル数 | ウム | 最低限 | 極度 | |
| ≧ 0.1μm | 個数/ml | 300 | ||
| ≧ 0.5 μm | 個数/ml | 50 | ||
| ≧ 1.0ミクロン | 個数/ml | 10 | ||
物理的および化学的性質
- 密度:~1.41 g/cm³(20°C時)
- 沸点:~83°C
- 融点:-42°C
- pH:強酸性
- 溶解性:水と完全に混和し、有機溶媒と激しく反応します
- 分解:加熱または光にさらされるとNO₂ガスを放出します
- 同義語:硝酸; 発煙硝酸; 水素窒素水; 濃硝酸; 希硝酸; 硝酸塩水; 硝酸水素; 硝酸、0.1N標準溶液; ・硝酸標準液
研究開発や生産では、サンプル中のさまざまな元素の含有量を分析する必要があることが多く、超高純度試薬に溶解したサンプルの元素を分析するために通常、AA、ICP-OES、ICP-MSが使用されます。
1. G1/G2レベルの製品に適した信号吸収分光法によりサンプル中の金属元素を分析します。
2. G3/G4レベルの製品-ppbレベルに適した分光法により、プラズマサンプル中の金属元素を分析します。
3. G5/G6 レベルの製品 – ppt レベルに適した質量分析によってプラズマサンプル中の金属元素を分析します。
包む：
輸入された高純度、耐食性フッ素樹脂PFA材料は、G4、G5、G6シリーズ製品の包装容器として使用されています。
G1~G3シリーズ製品の包装材として高密度ポリエチレンボトル(HDPE)を使用します。
500mL包装製品はすべてPE袋に二次包装されており、ペットボトルの外層は保護されており、輸送中の製品の安全性が向上しています。
他の超高純度試薬はカスタマイズでき、詳細なニーズはセールスマンが連絡して仕様を伝えることができます
主な用途:
- 半導体産業:
- ウェーハの洗浄とエッチングプロセスは不可欠です
- RCA洗浄(SC-2)で金属汚染物質を除去するために使用されます
- エレクトロニクス製造:
- 回路基板およびコンポーネントの製造における高純度酸化剤
- 微細加工およびリソグラフィーにおけるエッチング液
- 化学合成と研究:
- 高純度化学および薬物合成における試薬
- 硝化反応の前駆体
- 冶金および表面処理:
- ステンレス鋼の不動態化用
- 金属エッチングおよび精製用の高純度硝酸
- 環境および分析アプリケーション:
- ICP-MSなどの微量分析技術に使用
- 超純水製造用
安全性と取り扱い
- 危険性: 強酸および酸化剤は、金属や皮膚に対する腐食性が高く、分解すると有毒な NOx ガスを放出します。
- 貯蔵：
- 耐酸性の密閉容器(PTFE、PFA、ガラスなど)に保管してください
- 有機物から離れた冷暗所、換気の良い場所に保管してください
- 保護具: 耐薬品性の手袋、ゴーグル、耐酸性の衣服を使用してください。 取り扱いの際は、適切な換気を確保してください。
市場と供給
- 包装: HDPE またはフッ素ポリマーの容器で入手可能で、通常は 2.5 リットル、25 リットル、または工業用のバルク包装で入手できます
- 規制:半導体アプリケーションおよびその他の高純度産業要件のSEMI C7規格に適合
