超高純度硫酸PPTグレード半導体材料メーカー
7664-93-9
化学名:超純度硫酸/電子グレード硫酸/精製硫酸
分子量:98.08 g / mol
濃度：工業用グレードの硫酸: 92%-98%。試薬クラス: >98% または超純度硫酸電子グレード硫酸硫酸 >99.9999%
製品詳細:
| パラメーター | ウム | 最低限 | すごく | |
| 試験(H2SO4) | % | 96.0 | 97.0 | |
| 色 | アファ | 5 | ||
| 塩化物(Cl) | ppb | 50 | ||
| 硝酸塩(NO3) | 毎分 | 0.1 | ||
| リン酸塩 (PO4) | 毎分 | 0.1 | ||
| NH4 | 毎分 | 1 | ||
| 灌漑後の残留物 (RAI) | 毎分 | 1 | ||
| 還元剤、過マンガン酸塩(KMnO4) | 毎分 | 1 | ||
| 汚れが一番大きい | ウム | 最低限 | すごく | |
| アルミニウム(Al) | ppb | 0.05 | ||
| アンチモン(Sb) | ppb | 0.05 | ||
| ヒ素(as) | ppb | 0.05 | ||
| バリウム(Ba) | ppb | 0.05 | ||
| ベリリウム(Be) | ppb | 0.05 | ||
| ビスマス(ビスマス) | ppb | 0.05 | ||
| ホウ素(B) | ppb | 0.05 | ||
| カドミウム(Cd) | ppb | 0.05 | ||
| カルシウム(Ca) | ppb | 0.05 | ||
| クロム(Cr) | ppb | 0.05 | ||
| コバルト(Co) | ppb | 0.05 | ||
| 銅(Cu) | ppb | 0.05 | ||
| ガリウム(Ga) | ppb | 0.05 | ||
| ゲルマニウム(Ge) | ppb | 0.05 | ||
| ゴールド(AU) | ppb | 0.05 | ||
| インジウム(In) | ppb | 0.05 | ||
| 鉄(鉄) | ppb | 0.05 | ||
| 鉛(Pb) | ppb | 0.05 | ||
| リチウム(Li) | ppb | 0.05 | ||
| マグネシウム(mg) | ppb | 0.05 | ||
| 食べる (Mn) | ppb | 0.05 | ||
| モリブデン(Mo) | ppb | 0.05 | ||
| 水銀(Hg) | ppb | 0.05 | ||
| ニッケル(Ni) | ppb | 0.05 | ||
| ニオブ(Nb) | ppb | 0.05 | ||
| カリウム(K) | ppb | 0.05 | ||
| セレン(Se) | ppb | 0.05 | ||
| シリコン(Si) | ppb | 0.5 | ||
| ペラ州(農業) | ppb | 0.05 | ||
| ナトリウム(Na) | ppb | 0.05 | ||
| ストロンチウム(Sr) | ppb | 0.05 | ||
| タンタル(Ta) | ppb | 0.05 | ||
| タリウム (Tl) | ppb | 0.05 | ||
| 錫(Sn) | ppb | 0.05 | ||
| チタン(Ti) | ppb | 0.05 | ||
| バナジウム(V) | ppb | 0.05 | ||
| 亜鉛(Zn) | ppb | 0.05 | ||
| ジルコニウム(Zr) | ppb | 0.05 | ||
| パーティクル数 | ウム | 最低限 | すごく | |
理化性质
- 直径:~1.84 g/cm³(20°C时)
- 沸点:~290°C(沸腾前分解)
- 熔点:~10°C
- 酸碱度:強酸性 (pH <1)
- 溶解度:与水完全混溶(放热反应)
- 分解:在高温下产生 SO₃、SO₂ 和 H₂O
- 高纯度：杂质含量极低，以满足半导体、超大规模集成电路等微电子工业的严格要求。
- 无色透明油状液体:纯硫酸为无色透明油状液体。
- 強力な吸水と酸化:吸水性が強く、綿、紙、木材などの炭水化物を乾燥させて炭化することができます。同時に、酸化特性があり、ほとんどの金属と反応することができます。
主な用途:
- 半導体産業:
- ウェーハの洗浄とエッチング(SC-1およびSC-2 RCA洗浄)に必須
- マイクロチップから有機汚染物質や金属残渣を除去
- 電子機器製造:
- PCBおよび微細加工用の高純度エッチングソリューション
- CMP(Chemical-Mechanical Planarization)プロセスの重要な要素
- 医薬品および化学合成:
- 精密化学反応のための高純度試薬
- 高純度硫酸媒介合成における触媒
- バッテリーとエネルギー貯蔵:
- リチウムイオン電池と鉛蓄電池の生産は不可欠です
- 環境および分析アプリケーション:
- ICP-MSおよび微量金属分析用
- 超純水製造用主な試薬
準備方法
減圧蒸留
蒸留された硫酸は、減圧蒸留を用いた減圧蒸留により回収されます。
流下膜の結晶化
1.結晶化プロセス:恒温タンク内の冷却剤の温度を、結晶化を一定に冷却するために必要な温度に調整します。結晶化に少量の結晶性種子吊り下げフィルムを追加し、特定の材料の液体の流れに応じて供給酸と蒸留酸を輸送し、特定の冷却レベルで冷却し、結晶化の終わりまで冷却し、供給酸輸送を停止します。
2.発汗プロセス:サーモスタット溝を一定のステップで加熱して結晶化温度を上げると、結晶部分が溶けて汗の形で出てきます。汗が最終的に止まるまで温度が上昇します。
3.溶融プロセス:結晶化温度を上げて、すべての結晶、つまり製品を溶かします。
安全性と取り扱い
- 危険：腐食性の高い強酸は、重度の火傷、水や有機物質との激しい反応を引き起こします。
- 貯蔵：
- 耐酸性容器(PTFE、PFA、または特殊HDPE)を使用する
- 熱源から離れた涼しく乾燥した換気の良い場所に保管してください
- 保護具:耐薬品性手袋、フェイスシールド、耐酸性の衣服を使用し、スモークフードの下で作業してください。
超純酸とは、純度が高く不純物含有量が非常に低い酸性化学物質を指し、半導体、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクスなどのハイエンド産業分野で広く使用されています。一般的な超純度酸には、超高純度硫酸、超高純度硝酸、超高純度フッ化物酸などがあります。
- 超高純度硫酸:電子グレードの硫酸とも呼ばれ、非常に高純度で不純物含有量が少なく、マイクロエレクトロニクス技術の開発に不可欠な重要な基礎化学試薬であり、大規模な集積回路、半導体、その他のマイクロエレクトロニクス産業で広く使用されています。
- 超純度硝酸:高純度で不純物含有量が少ないため、半導体製造、表面処理、高精度電子部品の洗浄に使用されます。
- 超純度フッ化物酸:半導体製造におけるガラスのエッチング、洗浄、エッチングのプロセスで使用されます。
