超纯硫酸厂家PPT级别半导体材料
7664-93-9
化学名称：超纯硫酸/电子级硫酸/精致硫酸
分子量：98.08 g/mol
浓度：工业级硫酸：92%—98%。试剂级：>98% 或 超纯硫酸电子级硫酸>99.9999%
| 参数 | um | 最低 | 最大 | |
| 测定 （H2SO4） | % | 96.0 | 97.0 | |
| 颜色 | APHA的 | 5 | ||
| 氯化物 （Cl） | ppb | 50 | ||
| 硝酸盐 （NO3） | 每分钟 | 0.1 | ||
| 磷酸盐 （PO4） | 每分钟 | 0.1 | ||
| NH4 | 每分钟 | 1 | ||
| Igination 后残留物 （RAI） | 每分钟 | 1 | ||
| 还原性物质，高锰酸盐（KMnO4） | 每分钟 | 1 | ||
| 杂质最大 | um | 最低 | 最大 | |
| 铝 （Al） | ppb | 0.05 | ||
| 锑 （Sb） | ppb | 0.05 | ||
| 砷 （As） | ppb | 0.05 | ||
| 钡 （Ba） | ppb | 0.05 | ||
| 铍 （Be） | ppb | 0.05 | ||
| 铋 （Bi） | ppb | 0.05 | ||
| 硼 （B） | ppb | 0.05 | ||
| 镉 （Cd） | ppb | 0.05 | ||
| 钙 （Ca） | ppb | 0.05 | ||
| 铬 （Cr） | ppb | 0.05 | ||
| 钴 （Co） | ppb | 0.05 | ||
| 铜 （Cu） | ppb | 0.05 | ||
| 镓 （Ga） | ppb | 0.05 | ||
| 锗 （Ge） | ppb | 0.05 | ||
| 黄金 （Au） | ppb | 0.05 | ||
| 铟（In） | ppb | 0.05 | ||
| 铁（铁） | ppb | 0.05 | ||
| 铅 （Pb） | ppb | 0.05 | ||
| 锂 （Li） | ppb | 0.05 | ||
| 镁 （Mg） | ppb | 0.05 | ||
| 锰 （Mn） | ppb | 0.05 | ||
| 钼 （Mo） | ppb | 0.05 | ||
| 汞 （Hg） | ppb | 0.05 | ||
| 镍 （Ni） | ppb | 0.05 | ||
| 铌 （Nb） | ppb | 0.05 | ||
| 钾 （K） | ppb | 0.05 | ||
| 硒 （Se） | ppb | 0.05 | ||
| 硅 （Si） | ppb | 0.5 | ||
| 银 （Ag） | ppb | 0.05 | ||
| 钠 （Na） | ppb | 0.05 | ||
| 锶 （Sr） | ppb | 0.05 | ||
| 钽 （Ta） | ppb | 0.05 | ||
| 铊 （Tl） | ppb | 0.05 | ||
| 锡 （Sn） | ppb | 0.05 | ||
| 钛 （Ti） | ppb | 0.05 | ||
| 钒 （V） | ppb | 0.05 | ||
| 锌 （Zn） | ppb | 0.05 | ||
| 锆 （Zr） | ppb | 0.05 | ||
| 颗粒计数 | um | 最低 | 最大 | |
理化性质
- 密度：~1.84 g/cm³（20°C 时）
- 沸点：~290°C（沸腾前分解）
- 熔点：~10°C
- 酸碱度：强酸性 （pH <1）
- 溶解度：与水完全混溶（放热反应）
- 分解：在高温下产生 SO₃、SO₂ 和 H₂O
- 高纯度：杂质含量极低，以满足半导体、超大规模集成电路等微电子工业的严格要求。
- 无色透明油状液体：纯硫酸为无色透明油状液体。
- 强吸水性和氧化性：具有强吸水性，能使棉布、纸张、木材等碳水化合物脱水碳化；同时具有氧化性，能和绝大多数金属发生反应。
主要应用
- 半导体行业：
- 对晶圆清洁和蚀刻至关重要（SC-1 和 SC-2 RCA 清洁）
- 去除微芯片上的有机污染物和金属残留物
- 电子制造：
- 用于 PCB 和微细加工的高纯度蚀刻解决方案
- 化学机械平坦化 （CMP） 工艺中的关键部件
- 制药和化学合成：
- 用于精密化学反应的高纯度试剂
- 高纯硫酸介导合成中的催化剂
- 电池和储能：
- 锂离子电池和铅酸电池生产必不可少
- 环境和分析应用：
- 用于 ICP-MS 和痕量金属分析
- 超纯水生产的关键试剂
制备方法
减压蒸馏
在一定真空度下采用减压蒸馏法收集蒸馏硫酸。
降膜结晶
1，结晶过程：调节恒温槽冷却液温度至所需温度，使结晶器降温至恒定；结晶器内加入少量晶种挂膜，按一定料液流量输送进料酸一蒸馏酸，并按一定的降温速率降温，冷却至结晶终点，停止进料酸输送。
2，发汗过程：将恒温槽按一定的步长升温，以提高结晶器温度，使晶体部分熔化以汗液形式排出，升温至发汗终点停止。
3，熔融过程：升高结晶器温度，使晶体全部熔化，即得产品。
安全和处理
- 危害：强酸，腐蚀性强，引起严重灼伤，与水和有机物质发生剧烈反应。
- 存储：
- 使用耐酸容器（PTFE、PFA 或专用 HDPE）
- 存放在阴凉、干燥、通风良好的地方，远离热源
- 防护装备：使用耐化学腐蚀的手套、面罩、防酸服，并在通风橱下工作。
超纯酸是指经过高纯化处理，杂质含量极低的酸类化学品，广泛应用于半导体、微电子、光电子等高端工业领域。常见的超纯酸包括超纯硫酸、超纯硝酸和超纯氢氟酸等。
- 超纯硫酸：又称电子级硫酸，纯度极高，杂质含量极低，是微电子技术发展过程中不可或缺的关键基础化学试剂，广泛应用于大规模集成电路、半导体等微电子行业。
- 超纯硝酸：具有高纯度和低杂质含量，用于半导体制造、高精度电子元件的表面处理和清洗。
- 超纯氢氟酸：用于玻璃蚀刻、半导体制造中的清洗和蚀刻工艺。
