กรดซัลฟิวริกบริสุทธิ์พิเศษ
7664-93-9
ชื่อทางเคมี:กรดซัลฟิวริกบริสุทธิ์พิเศษ
สูตรโมเลกุล:เอช₂โซ₄
น้ําหนักโมเลกุล: 98.08 กรัม / โมล
หมายเลข CAS: 7664-93-9
| พารามิเตอร์ | ยูเอ็ม | ขั้นต่ํา | ระดับสูงสุด | |
| การทดสอบ (H2SO4) | % | 96.0 | 97.0 | |
| สี | APHA | 5 | ||
| คลอไรด์ (Cl) | พีพีบี | 50 | ||
| ไนเตรต (NO3) | พีเอ็ม | 0.1 | ||
| ฟอสเฟต (PO4) | พีเอ็ม | 0.1 | ||
| เอ็นเอช 4 | พีเอ็ม | 1 | ||
| สารตกค้างหลังการออกอากาศ (RAI) | พีเอ็ม | 1 | ||
| สารลดทับทิม (ในรูป KMnO4) | พีเอ็ม | 1 | ||
| สิ่งสกปรกสูงสุด | ยูเอ็ม | ขั้นต่ํา | ระดับสูงสุด | |
| อะลูมิเนียม (Al) | พีพีบี | 0.05 | ||
| พลวง (Sb) | พีพีบี | 0.05 | ||
| สารหนู (As) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แบเรียม (Ba) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เบริลเลียม (Be) | พีพีบี | 0.05 | ||
| บิสมัท (Bi) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โบรอน (B) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แคดเมียม (ซีดี) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แคลเซียม (Ca) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โครเมียม (Cr) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โคบอลต์ (Co) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ทองแดง (ลูกบาศก์) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แกลเลียม (Ga) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เจอร์เมเนียม (Ge) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โกลด์ (Au) | พีพีบี | 0.05 | ||
| อินเดียม (นิ้ว) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เหล็ก (Fe) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ตะกั่ว (Pb) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ลิเธียม (Li) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แมกนีเซียม (มก.) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แมงกานีส (Mn) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โมลิบดีนัม (Mo) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ปรอท (Hg) | พีพีบี | 0.05 | ||
| Nickel (Ni) | ppb | 0.05 | ||
| Niobium (Nb) | ppb | 0.05 | ||
| Potassium (K) | ppb | 0.05 | ||
| Selenium (Se) | ppb | 0.05 | ||
| Silicon (Si) | ppb | 0.5 | ||
| Silver (Ag) | ppb | 0.05 | ||
| โซเดียม (Na) | พีพีบี | 0.05 | ||
| สตรอนเทียม (Sr) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แทนทาลัม (Ta) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ทาลเลียม (Tl) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ดีบุก (Sn) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ไทเทเนียม (Ti) | พีพีบี | 0.05 | ||
| วาเนเดียม (V) | พีพีบี | 0.05 | ||
| สังกะสี (Zn) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เซอร์โคเนียม (Zr) | พีพีบี | 0.05 | ||
| จํานวนอนุภาค | ยูเอ็ม | ขั้นต่ํา | ระดับสูงสุด | |
คุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมี
- ความหนาแน่น: ~1.84 g/cm³ (ที่ 20°C)
- จุดเดือด: ~ 290 °C (ย่อยสลายก่อนเดือด)
- จุดหลอมเหลว: ~ 10 °C
- ค่า pH: เป็นกรดสูง (pH <1)
- สภาพละลายได้: ผสมกับน้ําได้อย่างสมบูรณ์ (ปฏิกิริยาคายความร้อน)
- การเน่าเปื่อย: ผลิต SO₃, SO₂ และ H₂O ที่อุณหภูมิสูง
การใช้งานที่สําคัญ
- อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์:
- สําคัญสําหรับการทําความสะอาดและการแกะสลักเวเฟอร์ (การทําความสะอาด SC-1 และ SC-2 RCA)
- ขจัดสิ่งปนเปื้อนอินทรีย์และโลหะตกค้างจากไมโครชิป
- การผลิตอิเล็กทรอนิกส์:
- ใช้ในโซลูชันการแกะสลักที่มีความบริสุทธิ์สูงสําหรับ PCB และไมโครแฟคซิฟิเคชั่น
- องค์ประกอบสําคัญในกระบวนการ Planarization ทางกลทางเคมี (CMP)
- การสังเคราะห์ทางเภสัชกรรมและเคมี:
- รีเอเจนต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสําหรับปฏิกิริยาเคมีที่แม่นยํา
- ตัวเร่งปฏิกิริยาในการสังเคราะห์ด้วยกรดซัลฟิวริกที่มีความบริสุทธิ์สูง
- แบตเตอรี่และการจัดเก็บพลังงาน:
- จําเป็นในการผลิตแบตเตอรี่ลิเธียมไอออนและตะกั่วกรด
- การใช้งานด้านสิ่งแวดล้อมและการวิเคราะห์:
- ใช้ใน ICP-MS และการวิเคราะห์โลหะปริมาณน้อย
- รีเอเจนต์สําคัญในการผลิตน้ําบริสุทธิ์พิเศษ
ความปลอดภัยและการจัดการ
- อันตราย: กรดแก่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงทําให้เกิดแผลไหม้อย่างรุนแรงทําปฏิกิริยาอย่างรุนแรงกับน้ําและวัสดุอินทรีย์
- การเก็บรักษา:
- ใช้ภาชนะทนกรด (PTFE, PFA หรือ HDPE เฉพาะ)
- เก็บในที่เย็น แห้ง และมีอากาศถ่ายเทสะดวก ห่างจากแหล่งความร้อน
- อุปกรณ์ป้องกัน: ใช้ถุงมือทนสารเคมี กระบังหน้า เสื้อผ้ากันกรด และทํางานภายใต้ตู้ดูดควัน
ตลาดและอุปทาน
- ผู้ผลิตรายใหญ่: BASF, Merck, Kanto Chemical, Mitsubishi Chemical เป็นต้น
- บรรจุ ภัณฑ์: จัดจําหน่ายในถังที่มีฟลูออโรโพลิเมอร์หรือภาชนะที่มีความบริสุทธิ์สูง มีจําหน่ายในรูปแบบ 2.5 ลิตร 25 ลิตร หรือจํานวนมาก
- ระเบียบ: สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI C9 สําหรับกรดซัลฟิวริกเกรดเซมิคอนดักเตอร์
