แอมโมเนียในน้ําบริสุทธิ์พิเศษ / แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์บริสุทธิ์พิเศษ
1336-21-6
ชื่อทางเคมี:แอมโมเนียในน้ําบริสุทธิ์พิเศษ / แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์บริสุทธิ์พิเศษ
สูตรโมเลกุล:NH₄OH (เป็นสารละลายในน้ําของ NH₃)
หมายเลข CAS: 1336-21-6
| พารามิเตอร์ | ยูเอ็ม | ขั้นต่ํา | ระดับสูงสุด | |
| การทดสอบ (NH3) | % | 28.0 | 30.0 | |
| สี | APHA | 5 | ||
| คลอไรด์ (Cl) | พีเอ็ม | 0.01 | ||
| คาร์บอเนต (ในรูป CO3) | พีเอ็ม | 1 | ||
| ซัลเฟต (SO4) | พีเอ็ม | 0.01 | ||
| ฟอสเฟต (PO4) | พีเอ็ม | 0.01 | ||
| สารลดทับทิม (ในรูป KMnO4) | พีเอ็ม | 0.5 | ||
| สิ่งสกปรกสูงสุด | ยูเอ็ม | ขั้นต่ํา | ระดับสูงสุด | |
| อะลูมิเนียม (Al) | พีพีบี | 0.05 | ||
| พลวง (Sb) | พีพีบี | 0.05 | ||
| สารหนู (As) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แบเรียม (Ba) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เบริลเลียม (Be) | พีพีบี | 0.05 | ||
| บิสมัท (Bi) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โบรอน (B) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แคดเมียม (ซีดี) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แคลเซียม (Ca) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โครเมียม (Cr) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โคบอลต์ (Co) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ทองแดง (ลูกบาศก์) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แกลเลียม (Ga) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เจอร์เมเนียม (Ge) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โกลด์ (Au) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เหล็ก (Fe) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ตะกั่ว (Pb) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ลิเธียม (Li) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แมกนีเซียม (มก.) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แมงกานีส (Mn) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โมลิบดีนัม (Mo) | พีพีบี | 0.05 | ||
| นิกเกิล (Ni) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ไนโอเบียม (Nb) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โพแทสเซียม (K) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เงิน (Ag) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โซเดียม (Na) | พีพีบี | 0.05 | ||
| สตรอนเทียม (Sr) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แทนทาลัม (Ta) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ทาลเลียม (Tl) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ดีบุก (Sn) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ไทเทเนียม (Ti) | พีพีบี | 0.05 | ||
| วาเนเดียม (V) | พีพีบี | 0.05 | ||
| สังกะสี (Zn) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เซอร์โคเนียม (Zr) | พีพีบี | 0.05 | ||
| จํานวนอนุภาค | ยูเอ็ม | ขั้นต่ํา | ระดับสูงสุด | |
| ≧0.1 ไมครอน | ชิ้น / มล | 200 | ||
| ≧0.2 ไมครอน | ชิ้น / มล | 50 | ||
| ≧0.5 ไมครอน | ชิ้น / มล | 30 | ||
| ≧1.0 ไมครอน | ชิ้น / มล | 10 | ||
คุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมี
- ความหนาแน่น: ~0.88 g/cm³ (ที่ 20°C)
- จุดเดือด: ~36°C (แตกต่างกันไปตามความเข้มข้น)
- จุดหลอมเหลว: ~ -77 °C
- ค่า pH:เป็นด่างแรง (pH >11)
- สภาพละลายได้: ผสมกับน้ําได้อย่างสมบูรณ์ทําปฏิกิริยากับกรด
- การเน่าเปื่อย: ปล่อยก๊าซแอมโมเนีย (NH₃) เมื่อเวลาผ่านไป โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อได้รับความร้อน
การใช้งานที่สําคัญ
- อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์:
- ใช้ในการทําความสะอาด RCA (SC-1) เพื่อขจัดสิ่งปนเปื้อนอินทรีย์และอนุภาคออกจากเวเฟอร์
- จําเป็นในกระบวนการแกะสลักและกระบวนการ Planarization ทางกลทางเคมี (CMP)
- การผลิตอิเล็กทรอนิกส์:
- การแกะสลักอัลคาไลน์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสําหรับไมโครอิเล็กทรอนิกส์และแผงแสดงผล
- รีเอเจนต์ที่สําคัญในการลอกโฟโตรีซิสต์
- การสังเคราะห์ทางเคมีและเภสัชกรรม:
- ใช้ในสูตรเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูง
- สารตั้งต้นสําหรับสารประกอบที่มีแอมโมเนียมในการวิจัยและอุตสาหกรรม
- การใช้งานด้านสิ่งแวดล้อมและการวิเคราะห์:
- ใช้ในการผลิตน้ําบริสุทธิ์พิเศษและการบําบัดน้ําเสีย
- รีเอเจนต์ใน ICP-MS และเทคนิคการวิเคราะห์การติดตามอื่นๆ
ความปลอดภัยและการจัดการ
- อันตราย: มีฤทธิ์กัดกร่อน ก่อให้เกิดการระคายเคืองอย่างรุนแรงต่อผิวหนัง ดวงตา และระบบทางเดินหายใจสามารถปล่อยควันแอมโมเนียที่เป็นอันตรายได้
- การเก็บรักษา:
- เก็บในภาชนะที่ปิดสนิทและเข้ากันได้ (เช่น PTFE, PFA หรือ HDPE ที่มีความบริสุทธิ์สูง)
- เก็บในที่เย็นและมีอากาศถ่ายเทสะดวกห่างจากกรดและสารออกซิไดเซอร์
- อุปกรณ์ป้องกัน: ใช้ถุงมือทนสารเคมี แว่นตานิรภัย และทํางานภายใต้ตู้ดูดควัน ตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการระบายอากาศที่เหมาะสมเมื่อจัดการ
ตลาดและอุปทาน
- ผู้ผลิตรายใหญ่: BASF, Merck, Kanto Chemical, Mitsubishi Chemical เป็นต้น
- บรรจุ ภัณฑ์: โดยทั่วไปจะให้ในภาชนะที่มีความบริสุทธิ์สูง (2.5L, 25L หรือรูปแบบจํานวนมาก) สําหรับการใช้งานในอุตสาหกรรม
- ระเบียบ: สอดคล้องกับ SEMI C9 และมาตรฐานอุตสาหกรรมอื่นๆ สําหรับแอมโมเนียในน้ําที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ
