กรดไฮโดรฟลูออริกบริสุทธิ์พิเศษ
กรดไฮโดรฟลูออริกบริสุทธิ์พิเศษ
สูตรโมเลกุล:เอช₂โอ₂
หมายเลข CAS: 7722-84-1
ความบริสุทธิ์: โดยทั่วไป ≥ 99.999% (ขึ้นอยู่กับการใช้งาน)
| พารามิเตอร์ | ยูเอ็ม | ขั้นต่ํา | ระดับสูงสุด | |
| การทดสอบ (HF) | % | 48.8 | 49.2 | |
| สี | APHA | 10 | ||
| ไนเตรต (NO3) | พีพีบี | 15 | ||
| คลอไรด์ (Cl) | พีพีบี | 15 | ||
| ฟอสเฟต (PO4) | พีพีบี | 15 | ||
| ซัลเฟตและซัลไฟต์ (SO3 และ SO4) | พีพีบี | 15 | ||
| สิ่งสกปรกสูงสุด | ยูเอ็ม | ขั้นต่ํา | ระดับสูงสุด | |
| อะลูมิเนียม (Al) | พีพีบี | 0.05 | ||
| พลวง (Sb) | พีพีบี | 0.05 | ||
| สารหนู (As) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แบเรียม (Ba) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เบริลเลียม (Be) | พีพีบี | 0.05 | ||
| บิสมัท (Bi) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โบรอน (B) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แคดเมียม (ซีดี) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แคลเซียม (Ca) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โครเมียม (Cr) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โคบอลต์ (Co) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ทองแดง (ลูกบาศก์) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แกลเลียม (Ga) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เจอร์เมเนียม (Ge) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โกลด์ (Au) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เหล็ก (Fe) | พีพีบี | 0.05 | ||
| อินเดียม (นิ้ว) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ตะกั่ว (Pb) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ลิเธียม (Li) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แมกนีเซียม (มก.) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แมงกานีส (Mn) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โมลิบดีนัม (Mo) | พีพีบี | 0.05 | ||
| นิกเกิล (Ni) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ไนโอเบียม (Nb) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โพแทสเซียม (K) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เงิน (Ag) | พีพีบี | 0.05 | ||
| โซเดียม (Na) | พีพีบี | 0.05 | ||
| สตรอนเทียม (Sr) | พีพีบี | 0.05 | ||
| แทนทาลัม (Ta) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ทาลเลียม (Tl) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ดีบุก (Sn) | พีพีบี | 0.05 | ||
| ไทเทเนียม (Ti) | พีพีบี | 0.05 | ||
| วาเนเดียม (V) | พีพีบี | 0.05 | ||
| สังกะสี (Zn) | พีพีบี | 0.05 | ||
| เซอร์โคเนียม (Zr) | พีพีบี | 0.05 | ||
| จํานวนอนุภาค | ยูเอ็ม | ขั้นต่ํา | ระดับสูงสุด | |
| ≧0.1 ไมครอน | ชิ้น / มล | 300 | ||
| ≧0.2 ไมครอน | ชิ้น / มล | 150 | ||
| ≧0.5 ไมครอน | ชิ้น / มล | 25 | ||
Cคุณสมบัติทางกายภาพและทางเคมี
- ความหนาแน่น: ~1.45 g/cm³ (ที่ 20°C)
- จุดเดือด: ย่อยสลายก่อนเดือด (~150°C ที่ 1 atm)
- จุดหลอมเหลว: -0.43 °C
- ค่า pH:เป็นกรดเล็กน้อย (pH 4.5–5.5 สําหรับสารละลายเจือจาง)
- สภาพละลายได้: ผสมกับน้ําในทุกสัดส่วนละลายได้เล็กน้อยในแอลกอฮอล์และอีเธอร์
- การเน่าเปื่อย: ค่อยๆ ย่อยสลายเป็นน้ําและออกซิเจนเร่งด้วยความร้อนแสงและสิ่งสกปรก
การใช้งานที่สําคัญ
- อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์:
- ใช้ในกระบวนการทําความสะอาดเวเฟอร์ (การทําความสะอาด RCA)
- จําเป็นสําหรับการกําจัดสารปนเปื้อนอินทรีย์และโลหะออกจากไมโครอิเล็กทรอนิกส์
- เภสัชกรรมและเทคโนโลยีชีวภาพ:
- การฆ่าเชื้ออุปกรณ์และสิ่งอํานวยความสะดวก
- ใช้ในการสังเคราะห์ตัวกลางทางเภสัชกรรม
- การผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยํา:
- กระบวนการแกะสลักสําหรับแผงวงจรพิมพ์ (PCB)
- สารออกซิไดซ์ในปฏิกิริยาเคมีที่มีความแม่นยําสูง
- การสังเคราะห์ทางเคมี:
- รีเอเจนต์ที่สําคัญในปฏิกิริยาออกซิเดชัน
- ผลิตสารเคมีตัวกลางที่มีความบริสุทธิ์สูง
- การใช้งานด้านสิ่งแวดล้อม:
- การบําบัดน้ําเสียเพื่อขจัดมลพิษ
- กระบวนการออกซิเดชันขั้นสูง (AOP) สําหรับการฟอกอากาศและน้ําให้บริสุทธิ์
ความปลอดภัยและการจัดการ
- อันตราย: ตัวออกซิไดเซอร์ที่แข็งแกร่ง อาจทําให้เกิดแผลไหม้อย่างรุนแรงและดวงตาเสียหายได้สามารถทําปฏิกิริยาอย่างรุนแรงกับวัสดุอินทรีย์ โลหะ และสารลดราคา
- การเก็บรักษา:
- เก็บในที่เย็น แห้ง และมีอากาศถ่ายเทสะดวก
- เก็บในภาชนะที่ไม่ทําปฏิกิริยา (มักทําจาก HDPE หรือเทฟลอน)
- หลีกเลี่ยงการสัมผัสกับแสงแดดและแหล่งความร้อน
- อุปกรณ์ป้องกัน:ใช้แว่นตา ถุงมือ และเสื้อคลุมแล็บในโรงงานอุตสาหกรรม ให้แน่ใจว่ามีการระบายอากาศที่เหมาะสมหรือใช้ตู้ดูดควัน
ตลาดและอุปทาน
ระเบียบ: สอดคล้องกับมาตรฐานสากล เช่น SEMI C30 สําหรับไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์เกรดเซมิคอนดักเตอร์
ผู้ผลิตรายใหญ่:Evonik, Solvay, Arkema, Mitsubishi Gas Chemical เป็นต้น
บรรจุ ภัณฑ์: โดยปกติจะให้ในภาชนะที่มีความบริสุทธิ์สูง เช่น ถังซัก กระเป๋า IBC หรือระบบจัดส่งจํานวนมากสําหรับใช้ในอุตสาหกรรม
