Produsen asam sulfat ultra-murni bahan semikonduktor kelas PPT
Parameter | Um | Minimum | Sangat | |
Uji (H2SO4) | % | 96.0 | 97.0 | |
warna | APHA | 5 | ||
Klorida (Cl) | Ppb | 50 | ||
Nitrat (NO3) | per menit | 0.1 | ||
Fosfat (PO4) | per menit | 0.1 | ||
NH4 | per menit | 1 | ||
Residu Pasca-Iginasi (RAI) | per menit | 1 | ||
Zat pereduksi, permanganat (KMnO4) | per menit | 1 | ||
Kotoran adalah yang terbesar | Um | Minimum | Sangat | |
Aluminium (Al) | Ppb | 0.05 | ||
Antimon (Sb) | Ppb | 0.05 | ||
Arsenik (Sebagai) | Ppb | 0.05 | ||
Barium (Ba) | Ppb | 0.05 | ||
Berilium (Be) | Ppb | 0.05 | ||
Bismut (Bismut) | Ppb | 0.05 | ||
Boron (B) | Ppb | 0.05 | ||
Kadmium (Cd) | Ppb | 0.05 | ||
Kalsium (Ca) | Ppb | 0.05 | ||
Kromium (Cr) | Ppb | 0.05 | ||
Kobalt (Co) | Ppb | 0.05 | ||
Tembaga (Cu) | Ppb | 0.05 | ||
Galium (Ga) | Ppb | 0.05 | ||
Germanium (Ge) | Ppb | 0.05 | ||
Emas (AU) | Ppb | 0.05 | ||
Indium (Dalam) | Ppb | 0.05 | ||
Besi (Besi) | Ppb | 0.05 | ||
Timbal (Pb) | Ppb | 0.05 | ||
Litium (Li) | Ppb | 0.05 | ||
Magnesium (mg) | Ppb | 0.05 | ||
Mangan (Mn) | Ppb | 0.05 | ||
Molibdenum (Mo) | Ppb | 0.05 | ||
Merkuri (Hg) | Ppb | 0.05 | ||
Nikel (Ni) | Ppb | 0.05 | ||
Niobium (Nb) | Ppb | 0.05 | ||
Kalium (K) | Ppb | 0.05 | ||
Selenium (Se) | Ppb | 0.05 | ||
Silikon (Si) | Ppb | 0.5 | ||
Perak (Ag) | Ppb | 0.05 | ||
Natrium (Na) | Ppb | 0.05 | ||
Strontium (Sr) | Ppb | 0.05 | ||
Tantalum (Ta) | Ppb | 0.05 | ||
Talium (Tl) | Ppb | 0.05 | ||
Timah (Sn) | Ppb | 0.05 | ||
Titanium (Ti) | Ppb | 0.05 | ||
Vanadium (V) | Ppb | 0.05 | ||
Seng (Zn) | Ppb | 0.05 | ||
Zirkonium (Zr) | Ppb | 0.05 | ||
Jumlah partikel | Um | Minimum | Sangat |
理化性质
- 密度:~1.84 g/cm³(20°C 时)
- 沸点:~290°C(沸腾前分解)
- 熔点:~10°C
- 酸碱度:强酸性 (pH <1)
- 溶解度:与水完全混溶(放热反应)
- 分解:在高温下产生 SO₃、SO₂ 和 H₂O
- 高纯度:杂质含量极低,以满足半导体、超大规模集成电路等微电子工业的严格要求。
- 无色透明油状液体:纯硫酸为无色透明油状液体。
- Penyerapan dan oksidasi air yang kuat: Ini memiliki penyerapan air yang kuat dan dapat mengeringkan dan mengkarbonisasi karbohidrat seperti kapas, kertas, dan kayu; Pada saat yang sama, ia memiliki sifat pengoksidasi dan dapat bereaksi dengan sebagian besar logam.
Aplikasi utama:
- Industri semikonduktor:
- Penting untuk pembersihan dan etsa wafer (pembersihan SC-1 dan SC-2 RCA)
- Menghilangkan kontaminan organik dan residu logam dari microchip
- Manufaktur Elektronik:
- Solusi etsa dengan kemurnian tinggi untuk PCB dan fabrikasi mikro
- Komponen penting dalam proses Planarisasi Kimia-Mekanik (CMP)
- Sintesis farmasi dan kimia:
- Reagen dengan kemurnian tinggi untuk reaksi kimia presisi
- Katalis dalam sintesis yang dimediasi asam sulfat dengan kemurnian tinggi
- Baterai dan Penyimpanan Energi:
- Produksi baterai lithium-ion dan timbal-asam sangat penting
- Aplikasi lingkungan dan analitis:
- Untuk ICP-MS dan analisis logam jejak
- Reagen utama untuk produksi air ultramurni
Metode persiapan
Distilasi vakum
Asam sulfat suling dikumpulkan dengan distilasi vakum menggunakan distilasi vakum.
Kristalisasi film jatuh
1. Proses kristalisasi: sesuaikan suhu cairan pendingin dalam tangki suhu konstan ke suhu yang diperlukan untuk mendinginkan kristalisasi menjadi konstanta; Tambahkan sedikit film gantung biji kristal ke kristalisasi, angkut asam umpan dan asam suling sesuai dengan aliran cairan bahan tertentu, dan dinginkan pada tingkat pendinginan tertentu, dinginkan hingga akhir kristalisasi, dan hentikan transportasi asam umpan.
2. Proses berkeringat: Alur termostatik dipanaskan pada langkah tertentu untuk meningkatkan suhu kristalisasi, sehingga bagian kristal meleleh dan keluar dalam bentuk keringat, dan suhu naik hingga akhir keringat berhenti.
3. Proses peleburan: tingkatkan suhu kristalisasi untuk melelehkan semua kristal, yaitu produk.
Keamanan dan penanganan
- Bahaya: Asam kuat, sangat korosif, menyebabkan luka bakar parah, reaksi keras dengan air dan zat organik.
- Penyimpanan:
- Gunakan wadah tahan asam (PTFE, PFA, atau HDPE khusus)
- Simpan di tempat yang sejuk, kering, dan berventilasi baik jauh dari sumber panas
- Alat Pelindung: Gunakan sarung tangan tahan bahan kimia, pelindung wajah, pakaian tahan asam, dan bekerja di bawah tudung asap.
Asam ultramurni mengacu pada bahan kimia asam dengan pemurnian tinggi dan kandungan pengotor yang sangat rendah, yang banyak digunakan di bidang industri kelas atas seperti semikonduktor, mikroelektronika, dan optoelektronika. Asam ultra-murni yang umum termasuk asam sulfat ultra-murni, asam nitrat ultra-murni dan asam fluorida ultra-murni.
- Asam sulfat ultra-murni: juga dikenal sebagai asam sulfat kelas elektronik, dengan kemurnian yang sangat tinggi dan kandungan pengotor rendah, ini adalah reagen kimia dasar kunci yang sangat diperlukan dalam pengembangan teknologi mikroelektronika, dan banyak digunakan dalam sirkuit terpadu skala besar, semikonduktor dan industri mikroelektronika lainnya.
- Asam nitrat ultra-murni: Dengan kemurnian tinggi dan kandungan pengotor rendah, digunakan dalam pembuatan semikonduktor, perawatan permukaan dan pembersihan komponen elektronik presisi tinggi.
- Asam fluorida ultramurni: Digunakan dalam proses etsa kaca, pembersihan dan etsa dalam pembuatan semikonduktor.