Производитель сверхчистых полупроводниковых материалов марки PPT с серной кислотой PPT
7664-93-9
Химическое название: Сверхчистая серная кислота / серная кислота электронного качества / рафинированная серная кислота
Молекулярная масса: 98,08 г/моль
Концентрация: Техническая серная кислота: 92%-98%. Класс реагента: >98% или сверхчистая серная кислота электронного класса серная кислота серная кислота >99,9999%
| Параметры | Гм | Минимум | Очень | |
| Тест (H2SO4) | % | 96.0 | 97.0 | |
| Цвет | АПХА | 5 | ||
| Хлорид (Cl) | Ppb | 50 | ||
| Нитраты (NO3) | в минуту | 0.1 | ||
| Фосфат (PO4) | в минуту | 0.1 | ||
| NH4 | в минуту | 1 | ||
| Пожнивные остатки (RAI) | в минуту | 1 | ||
| Восстановитель, перманганат (KMnO4) | в минуту | 1 | ||
| Грязь самая большая | Гм | Минимум | Очень | |
| Алюминий (Al) | Ppb | 0.05 | ||
| Сурьма (Sb) | Ppb | 0.05 | ||
| Мышьяк (ас) | Ppb | 0.05 | ||
| Барий (Ба) | Ppb | 0.05 | ||
| Бериллий (Be) | Ppb | 0.05 | ||
| Висмут (Висмут) | Ppb | 0.05 | ||
| Бор (В) | Ppb | 0.05 | ||
| Кадмий (Cd) | Ppb | 0.05 | ||
| Кальций (Ca) | Ppb | 0.05 | ||
| Хром (Cr) | Ppb | 0.05 | ||
| Кобальт (Co) | Ppb | 0.05 | ||
| Медь (Cu) | Ppb | 0.05 | ||
| Галлий (Ga) | Ppb | 0.05 | ||
| Германий (Ge) | Ppb | 0.05 | ||
| Золото (AU) | Ppb | 0.05 | ||
| Индий (дюйм) | Ppb | 0.05 | ||
| Iron (Железо) | Ppb | 0.05 | ||
| Свинец (Pb) | Ppb | 0.05 | ||
| Литий (Li) | Ppb | 0.05 | ||
| Магний (мг) | Ppb | 0.05 | ||
| Еда (Мн) | Ppb | 0.05 | ||
| Молибден (Mo) | Ppb | 0.05 | ||
| Ртуть (ртуть) | Ppb | 0.05 | ||
| Никель (Ni) | Ppb | 0.05 | ||
| Ниобий (Nb) | Ppb | 0.05 | ||
| Калий (К) | Ppb | 0.05 | ||
| Селен (Se) | Ppb | 0.05 | ||
| Кремний (Si) | Ppb | 0.5 | ||
| Перак (Ag) | Ppb | 0.05 | ||
| Натрий (Na) | Ppb | 0.05 | ||
| Стронций (Sr) | Ppb | 0.05 | ||
| Тантал (Ta) | Ppb | 0.05 | ||
| Таллиум (Tl) | Ppb | 0.05 | ||
| Олово (Sn) | Ppb | 0.05 | ||
| Титан (Ti) | Ppb | 0.05 | ||
| Ванадий (V) | Ppb | 0.05 | ||
| Цинк (Zn) | Ppb | 0.05 | ||
| Цирконий (Zr) | Ppb | 0.05 | ||
| Количество частиц | Гм | Минимум | Очень | |
理化性质
- Диаметр: ~ 1,84 г / см³ (20 °C 时)
- Температура кипения: ~290°C (разлагается до кипения)
- Температура плавления: ~10°C
- Кислотность: Сильная кислотность (pH <1)
- Растворимость: Полностью смешивается с водой (экзотермическая реакция)
- Разложение: Образует SO₃, SO₂ и H₂O при высоких температурах
- Высокая чистота: Чрезвычайно низкое содержание примесей, что соответствует строгим требованиям микроэлектронной промышленности, такой как производство полупроводников и сверхбольших интегральных схем.
- Бесцветная и прозрачная маслянистая жидкость: Чистая серная кислота — это бесцветная и прозрачная маслянистая жидкость.
- Сильное водопоглощение и окисление: он обладает сильным водопоглощением и может высушивать и карбонизировать углеводы, такие как хлопок, бумага и древесина; В то же время он обладает окислительными свойствами и может вступать в реакцию с большинством металлов.
Основные области применения:
- Полупроводниковая промышленность:
- Необходим для очистки пластин и травления (очистка SC-1 и SC-2 RCA)
- Удаляет органические загрязнения и остатки металлов с микрочипов
- Производство электроники:
- Решения для травления высокой чистоты для печатных плат и микропроизводства
- Важные компоненты процесса химико-механической планаризации (ХМЗ)
- Фармацевтический и химический синтез:
- Реагенты высокой чистоты для прецизионных химических реакций
- Катализатор в высокочистом синтезе, опосредованном серной кислотой
- Аккумуляторы и накопители энергии:
- Производство литий-ионных и свинцово-кислотных аккумуляторов имеет важное значение
- Экологические и аналитические приложения:
- Для анализа ICP-MS и микропримесей металлов
- Основные реагенты для производства сверхчистой воды
Способ приготовления
Вакуумная дистилляция
Дистиллированная серная кислота собирается методом вакуумной дистилляции с использованием вакуумной дистилляции.
Кристаллизация падающей пленки
1. Процесс кристаллизации: отрегулируйте температуру охлаждающей жидкости в резервуаре с постоянной температурой до температуры, необходимой для охлаждения кристаллизации до постоянной; Добавьте немного кристаллической пленки для подвешивания семян к кристаллизации, транспортируйте исходную кислоту и дистиллированную кислоту в соответствии с потоком жидкости конкретного материала и охладите ее до определенного уровня охлаждения, охладите до конца кристаллизации и остановите транспортировку исходной кислоты.
2. Процесс потоотделения: термостатическая канавка нагревается на определенном шаге для повышения температуры кристаллизации, так что кристаллическая часть плавится и выходит в виде пота, а температура повышается до тех пор, пока пот окончательно не прекратится.
3. Процесс плавления: увеличьте температуру кристаллизации, чтобы расплавить все кристаллы, т.е. продукт.
Безопасность и обращение
- Опасность: Сильные кислоты, высококоррозионные, вызывают сильные ожоги, жесткие реакции с водой и органическими веществами.
- Хранение:
- Используйте кислотостойкие емкости (ПТФЭ, PFA или специальный полиэтилен высокой плотности)
- Хранить в прохладном, сухом и хорошо проветриваемом месте вдали от источников тепла
- Средства защиты: Используйте химически стойкие перчатки, лицевые щитки, кислотостойкую одежду и работайте под дымовыми колпаками.
Сверхчистая кислота относится к кислотным химическим веществам с высокой чистотой и очень низким содержанием примесей, которые широко используются в высокотехнологичных промышленных областях, таких как полупроводники, микроэлектроника и оптоэлектроника. К распространенным сверхчистым кислотам относятся сверхчистая серная кислота, сверхчистая азотная кислота и сверхчистая фторидная кислота.
- Сверхчистая серная кислота: также известная как серная кислота электронного качества, с очень высокой чистотой и низким содержанием примесей, это ключевой основной химический реагент, который незаменим при развитии технологий микроэлектроники и широко используется в крупномасштабных интегральных схемах, полупроводниках и других отраслях микроэлектроники.
- Сверхчистая азотная кислота: Обладая высокой чистотой и низким содержанием примесей, она используется в производстве полупроводников, обработке поверхности и очистке высокоточных электронных компонентов.
- Сверхчистая фторидная кислота: используется в процессе травления стекла, очистки и травления при производстве полупроводников.
